Interdiffusion in SiGe alloys studied by x-rays

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Interdifúze v SiGe slitinách studovaná pomocí rtg
Autoři	MEDUŇA Mojmír NOVÁK Jiří BAUER Günther HOLÝ Václav FALUB Claudiu TSUJINO Soichiro GRÜTZMACHER Detlev
Rok publikování	2007
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Materials Structure in Chemistry, Biology, Physics and Technology
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	x-ray reflectivity; interdiffusion; SiGe
Popis	Studovali jsme SiGe/Si multivrstvy žíhané in-situ při teplotách v rozsahu 780-830 C pomocí rtg difrakce. Z fitování reflexe a difrakce jsme obdrželi difúzní koeficienty a aktivační energie pro obsah Ge 50%.
Související projekty:	Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur