Determination of electron temperature in neon RF discharge by means of collisional-radiative model

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Stanovení teploty elektronů v RF výboji v neonu pomocí srážkově-radiačního modelu
Autoři	NAVRÁTIL Zdeněk SCHMIDT J BRZOBOHATÝ Oto ŠIMEK J TRUNEC David PEKÁREK S ŠMÍD Radek PRUKNER V LAZAR Lukáš
Rok publikování	2007
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of ICPIG XXVIII
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	neon RF discharge; optical emission spectroscopy; collisional-radiative model
Popis	Teplota elektronů v kapacitně vázaném RF výboji v neonu byla stanovena pomocí srážkověradiačního modelu. Byly zkoumány dva režimy výboje při různých tlacích (10 a 80 Pa). Byly uvažovány tři druhy rozdělovací funkce elektronů. Výsledky byly porovnány se simulací PIC/MC.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku Pokročilý výzkum a vývoj zdrojů nízkoteplotního plazmatu