Deposition and analysis of thin films produced in atmospheric pressure glow discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Depozice a analýza tenkých vrstev vytořených v atmosférickém doutnavém výboji
Autoři	ŠÍRA Martin BURŠÍKOVÁ Vilma FRANTA Daniel TRUNEC David
Rok publikování	2007
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	atmospheric pressure glow discharge thin films
Popis	Tenké polymerní organosilikonové vrstvy byly deponovány v atmosférickém doutnavém výboji. Výboj byl zapálen v dusíku s malou příměsí hexamethyldisiloxanu. Teplota substrátu byla zvýšena až na 120 stupňů celsia za účelem zvýšení tvrdosti vrstev. Mezi doutnavým a filamentním výbojem bylo rozlišováno pomocí měření elektrických veličin. Mechanické vlastnosti vrstev byly určeny mikrotvrdoměrem. Vrstvy byly polymerního charakteru, průhledné v optickém spektru s uniformní tloušťkou a nízkou drsností.
Související projekty:	Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku