Study of Mechanical Properties of NCD Coatings

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Studium mechanických vlastností NCD vrstev
Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma BURŠÍK Jiří KARÁSKOVÁ Monika JAŠEK Ondřej ZAJÍČKOVÁ Lenka FRANTA Daniel KLAPETEK Petr BLÁHOVÁ Olga
Rok publikování	2007
Druh	Článek ve sborníku
Konference	VI. ročník konferencie Vrstvy a povlaky 2007
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Mechanical Properties; NCD Coatings;
Popis	Byly připraveny nanokompozitní diamantové vrstvy (NCD) pomocí mikrovlnné PECVD doplněné RF indukovaným stejnosměrným záporným předpětím v reaktoru typu ASTEX. Lomová houževnatost rozhraní vrstva substrát se ukázala být závislá na způsobu přiložení RF indukovaného stejnosměrného záporného předpětí. V případě vrstev, kdy toto předpětí bylo aplikováno až po zavedení metanu do depoziční směsi, vzorky měly podstatně vyšší lomovou houževnatost díky vytvoření amorfní uhlíkové mezivrstvy vylepšující adhezi vrstvy ke křemíkovému substrátu.
Související projekty:	Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů