Investigation of Neon RF Discharge by Means of Refined Collisional-Radiative model
Název česky | Studium RF výboje v neonu pomocí srážkově-radiačního modelu |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2008 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Programme & Abstract Book of 23rd Symposium on Plasma Physics and Technology, Prague, Czech Republic, 13.-19.June 2008 |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | rf discharge; collisional-radiative model; optical emission spectroscopy; neon |
Popis | Dříve vyvinutý srážkově-radiační model byl použit ke studiu kapacitně vázaného RF výboje (13,56 MHz) v neonu. Spolu s absolutním měření intenzity záření bylo možné stanovit teplotu a koncentraci elektronů. |
Související projekty: |