Study of thermal stability of Silicon, Oxygen and/or Nitrogen containing Diamon-like Carbon coatings

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	BURSIKOVA Vilma STAHEL Pavel SOBOTA Jaroslav GROSSMAN Jan FORT Tomas BOCHNICEK Zdenek KLAPETEK Petr BURSIK Jiri PERINA Vratislav
Rok publikování	2008
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	The thermomechanical stability of diamond-like protective (DLC) films play a crucial role for their technological application and its study is of great importance. The main disadvantages of amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) films prepared using PECVD are their low thermomechanical stability (due to hydrogen loss and graphitization at temperatures exceeding 300 C). After achieving this temperature the thermal degradation process starts due to the graphitization caused by hydrogen losses.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích