Is it possible to control degree of target poisoning during RF reactive magnetron sputtering by higher harmonic frequencies of discharge voltage?

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Lze kontrolovat otravu terče při magnetronovém naprašování pomocí vyšších harmonických frekvencí výbojového napětí?
Autoři	VAŠINA Petr DVOŘÁK Pavel
Rok publikování	2009
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8 - Book of abstracts
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	higher harmonics; plasma; discharge; reactive sputtering; magnetron
Popis	Kontrola otrávení terče při magnetronovém naprašování pomocí vyšších harmonických frekvencí napětí.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev