Study of the Mechanical Properties of Diamond-like Carbon Coatings on Polymer Substrates

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	STOICA Adrian BURŠÍKOVÁ Vilma KELAR Lukáš NOVOTNÝ Tomáš
Rok publikování	2009
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostic 8
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Mechanical Properties; Diamond-like Carbon; Coatings; Polymer Substrates
Popis	We focused our work on optimizing the deposition parametres to improve the coatings adhesion to the polymer surface. Hzdrogenate amorphous carbon (a-C:H) and nitrogen incorporated hzdrogenated amorphous carbon (a-C:H:N) films were deposited on polycarbonate, glass reinforced PPS, and BMC substrates by r.f. plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) A mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and CH4/N2/H2 gases was utilized to reduce the internal compressive stress of the deposited films.
Související projekty:	Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie