Spectroscopic ellipsometry and polarimetry for materials and systems analysis at the nanometer scale: state-of-the-art, potential, and perspectives

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Spektroskopická elipsometrie a polarimetrie materiálů and systémová analýza na nanometrové škále: současný stav, potenciál a perspektivy
Autoři	LOSURDO Maria HEMZAL Dušan BERGMAIR Michael HUMLÍČEK Josef BRUNO Giovanni CATELLAN D. COBET C. DE MARTINO A. FLEISCHER K. DOHCEVIC-MITROVIC Z. ESSER N. GAILLET M. GAJIC R. HEMZAL Dušan HINGERL K. HUMLÍČEK Josef OSSIKOVSKI R. POPOVIC Z.V. SAXL O.
Rok publikování	2009
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Journal of Nanoparticle Research
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Spectroscopic ellipsometry; Polarimetry; Nanomaterials; Nanoparticles; Thin films; Optical characterization; Nanometrology.
Popis	Tato práce diskutuje základy, aplikace, potenciál, omezení a perspektivy polarizačních reflexních technik pro charakterizaci materiálů a systémů na nanometrovém měřítku.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur