Interdiffusion in Ge rich SiGe/Ge multilayers studied by in situ diffraction

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Interdufúze v SiGe/Ge multivrstvách bohatých na Ge studovaných pomocí in-situ difrakce
Autoři	MEDUŇA Mojmír CAHA Ondřej KEPLINGER Mario STANGL Julian BAUER Günther MUSSLER Gregor GRÜTZMACHER Detlev
Rok publikování	2009
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Physica stat.sol.(a)
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	interdiffusion; x-ray diffraction; multilayers
Popis	Studovali jsme SiGe/Si multivrstvy s obsahem Ge 70% a 90% žíhané in-situ při teplotách v rozsahu 600-700 C pomocí rtg difrakce.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku Řízení elastického napětí v magnetických polovodičích