Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Homogenizace CZ Si desek pomocí žíhání Tabula Rasa
Autoři	MEDUŇA Mojmír CAHA Ondřej KUBĚNA Josef KUBĚNA Alan BURŠÍK Jiří
Rok publikování	2009
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Physica B condensed matter
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Silicon; Infra red; Precipitates
Popis	Rozdíly v precipitaci kyslíku, morfologie precipitátů a vývoj bodových defektů byly studovány pomocí experimentálních technik jako jsou infračervená absorpce, transmisní elektronová mikroskopie, leptací techniky a rtg difrakce.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku