Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Stanovení parametrů plazmatu RF výboje v neonu pomocí optické emisní spektroskopie
Autoři	NAVRÁTIL Zdeněk TRUNEC David
Rok publikování	2009
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	V RF výboji v neonu byla měřena koncentrace elektronů a elektronová teplota. Studium bylo zaměřeno na oblast výboje v blízkosti elektrody. Parametry byly studovány v závislosti na elektrickém výkonu dodávaném do výboje.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Tvorba nano-vrstev a nano-povlaků na textiliích s využitím plazmových povrchových úprav za atmosférického tlaku Výzkum a použití impulsních a mikrovlnných zdrojů plazmatu