Vacancies and self-interstitials dynamics in silicon wafers

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Dynamika vakancí a intersticiálů v Si deskách
Autoři	CAHA Ondřej KUBĚNA Josef KUBĚNA Alan MEDUŇA Mojmír
Rok publikování	2009
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Solid State Phenomena
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Silicon; vacancies; Interstitials; nucleation
Popis	Tato práce se zabývá především nukleací vakancí během RTA zahrnujícím různé stupně chlazení a počáteční stavy.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku