Towards limits of x-ray specular reflectivity

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Limity metody rtg reflexe
Autoři	JÍŠA Jan MEDUŇA Mojmír
Rok publikování	2009
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Materials Structure in Chemistry, Biology, Physics and Technology
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	x-ray reflectivity; fourier transform; photoresist
Popis	Použitím difraktometru s vysokým rozlišením jsme úspěšně naměřili tloušťky fotoresistů více než 1um tlusté s rtg zářením. Tloušťka získaná z rtg odrazivosti dobře odpovídá tloušťce získané z optické odrazivosti.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku