Deposition and characterization of nc-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Depozice a charakterizace nc-TiC/a-C:H povlaků připravených hybridním PVD-PECVD
Autoři	SOUČEK Pavel EL MEL Abdelazziz TESSIER Pierre-Yves ELIÁŠ Marek BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr
Rok publikování	2010
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Potencial and Application of Nanotreatment of Medical Surfaces
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	magnetron sputtering; coating; nanocomposite; mechanical properties
Popis	Rozprašováním titanového terče ve směsi argonu a acetylenu byly připraveny několik mikrometrů tlusté nc-TiC/a-C:H vrstvy. Pro přiblížení se průmyslovým podmínkám využití těchto vrstev byly použity leštěné ocelové substráty. Byl pozorován silný vliv počáteční teploty ocelových substrátů na výslednou kvalitu nc-TiC/a-C:H vrstev.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev