Effect of Nitrogen Incorporation on Optical Properties of DLC Layers

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	MURESAN Mihai George ZAJÍČKOVÁ Lenka FRANTA Daniel NEČAS David
Rok publikování	2010
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Diamond-like carbon (amorphous hydrogenated carbon: a-C:H) films doped with different amount of nitrogen were deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) using capacitively coupled rf discharge 13.56 in the mixture of CH4/H2/N2 on silicon substrates. Nitrogen content allowed reduction of the inherent internal stress of the DLC layer. DC self-bias, time and gas feed composition parameters were used for modification of the optical properties, adhesion to substrates, chemical composition and structure of the deposited films.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace