Homogeneous and heterogeneous nucleation of oxygen in Si-CZ

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Středoevropský technologický institut. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Homogenni a heterogenní nukleace kyslíku v Si-CZ
Autoři	KUBĚNA Josef KUBĚNA Alan CAHA Ondřej MEDUŇA Mojmír
Rok publikování	2011
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Solid State Phenomena
Fakulta / Pracoviště MU	Středoevropský technologický institut
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Interstitials; Nucleation; Precipitation; Silicon; Vacancies
Popis	Prezentujeme numerické simulace nukleační kinetiky vakancí a intersticiálů během RTA a studujeme vliv žíhací teploty na hustotu BMD.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku CEITEC - středoevropský technologický institut