The influence of low-energy ion bombardment on the microstructure development and mechanical properties of TiBx coatings
Název česky | Vliv bombardování nízkoenergetickými ionty na mikrostrukturní vývoj a mechanické vlastnosti TiBx povlakování |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2011 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Vacuum |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Doi | http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2010.12.011 |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | TiBx coatings; Magnetron sputtering; Nanocomposite system; Texture; Hardness |
Popis | Práce studuje vliv parametrů depozice na růst, strukturu a mechanické vlastnosti TiBx povlakování. Systém TiBx vykazuje nakompozitní charakter. Vrstvy lze zařadit do skupiny supertvrdých vrstev, většina vykazuje tvrdost kolem 50GPa. |
Související projekty: |