Evaluation of composition, mechanical properties and structure of nc-TiC/a-C:H coatings prepared by balanced magnetron sputtering

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	SOUČEK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza ZÁBRANSKÝ Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr CAHA Ondřej JÍLEK Mojmír EL MEL Abdelazziz TESSIER Pierre-Yves SCHÄFER Jan BURŠÍK Jiří PEŘINA Vratislav MIKŠOVÁ Romana
Rok publikování	2012
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Surface & Coatings Technology
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0257897211008875?via%3Dihub
Doi	http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.09.012
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Carbon; Magnetron sputtering; Mechanical properties; Nanocomposite; Titanium
Popis	Nanocomposites like nc-TiC/a-C:H show promising combinations of properties such as high hardness and Young's modulus combined with low friction and wear. These properties can be furthermore tailored to suit particular industrial needs. In this paper, we report on the preparation and analyses of several um thick and well adherent nc-TiC/a-C:H coatings with different stoichiometry. These coatings were deposited in a relatively low ion bombardment environment using magnetron sputtering of titanium target operated in well-balanced magnetic field configuration on high speed steel and hardmetal substrates. Gaseous hydrocarbon (acetylene) was added to the deposition chamber as source of carbon. Hardness and Young's modulus of 46 GPa and 415 GPa respectively were reached.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy