Higher harmonic frequencies in capacitive discharges and their using for monitoring of plasma processing

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Vyšší harmonické frekvence v kapacitních výbojích a jejich využití v plazmových procesech
Autoři	DVOŘÁK Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma ŽEMLIČKA Radek
Rok publikování	2011
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Použití vyšších harmonických frekvencí na sledování depozičních procesů.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích