Influence of DLC films on higher harmonic frequencies in capacitive discharges

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Vliv DLC vrstev na vyšší harmonické frekvence v kapacitních výbojích
Autoři	DVOŘÁK Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma ŽEMLIČKA Radek HOMOLA Vojtěch
Rok publikování	2011
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Vliv vzniku nebo odleptání tekné DLC vrstvy v plazmatu na Fourierovy komponenty napětí a proudu.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích