Zařízení pro měření rekombinačních procesů v epitaxních vrstvách křemíku

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	BOČÁNEK Luděk HUMLÍČEK Josef
Rok publikování	2014
Druh	Výsledky s právní ochranou
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Popis	Zařízení pro sledování rekombinačních procesů v epitaxních vrstvách křemíku umožňuje měřit elektrické proudy napříč strukturou. Pro měření proudů se využívá kontakt epitaxní vrstvy s polopropustnou kovovou elektrodou, přes kterou jsou nosiče excitovány světelnými pulsy vycházejícími z optického vlákna.
Související projekty:	Struktury SOI pro pokročilé polovodičové aplikace