STUDY OF NITROGEN DOPED ORGANOSILICON PLASMA POLYMER THIN FILMS

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Studium dusíkem dopovaných organosilikonových tenkých vrstev
Autoři	BITTNEROVÁ Štěpánka BURŠÍKOVÁ Vilma STUPAVSKÁ Monika HOMOLA Vojtěch
Rok publikování	2017
Druh	Článek ve sborníku
Konference	8TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOMATERIALS - RESEARCH & APPLICATION (NANOCON 2016)
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Klíčová slova	thin films; hexamethyldisiloxane; PECVD; FTIR; XPS; AFM; nanoindentation
Popis	Přidání vhodného dopantu během plazmové polymerace je jedním ze způsobů, jak vytvářet specifické funkční skupiny modifikující chemii, fyzikální vlastnosti a biokompatibilitu filmů. V současných pracích se používal nízkotlaký RF kapacitně vázaný výboj pro přípravu tenkých vrstev s funkčními skupinami obsahujícími dusík na substráty monokrystalického křemíku. Výsledné plazmové polymery byly zkoumány několika metodami zaměřenými především na stanovení chemického složení, povrchové mikrostruktury a mechanických vlastností. Součástí této studie jsou výsledky FT infračervené spektroskopie, rentgenové fotoelektronové spektroskopie, konfokální mikroskopie, mikroskopie atomárních sil a nanoindentace.
Související projekty:	Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy