Evolution of sputtered species densities in HiPIMS process with acetylene gas

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	BERNÁTOVÁ Katarína FEKETE Matej KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr
Rok publikování	2017
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	We report the effect of increasing the mass flow rate of the acetylene gas on the sputtered Ti atom and ion ground state number densities using the spectroscopic method based on effective branching fractions in HiPIMS and DCMS process.
Související projekty:	Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace