Technologie pro depozici materiálu magnetronovým naprašováním

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	HNILICA Jaroslav KLEIN Peter BERNÁTOVÁ Katarína VAŠINA Petr ŠLAPANSKÁ Marta
Rok publikování	2018
Druh	Poloprovoz, technologie, odrůda, plemeno
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Popis	Navržená technologie ukazuje, že použití stejnosměrného magnetronového naprašování vede ke čtyřnásobně rychlejší depozici vrstvy v porovnání s magnetronovým naprašováním buzeným pulzy vysokého výkonu, a tedy je proces mnohem efektivnější a méně energeticky náročný. Použitím magnetronového naprašování buzeného pulzy vysokého výkonu ovšem povede k deponování vrstvy nejen pomocí atomů, ale i iontů rozprašovaného materiálu, což vyústí k přípravě mnohem kvalitnějších deponovaných vrstev (větší přilnavosti k substrátu, nižší drsnosti či větší hustotě), což vyústí ve větší přidanou hodnotu daných vrstev. V tomto studovaném případě bude v místě, kde se vrstva deponuje na vzorek, až 48 % iontů.
Související projekty:	Optimalizace procesu depozice průmyslových ochranných povlaků