Time-resolved sputtered species number density in Ar/N2 HiPIMS

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Časově rozlišená studie hustoty rozprášených častíc v Ar/N2 HiPIMS procesu
Autoři	BERNÁTOVÁ Katarína KLEIN Peter FEKETE Matej HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr
Rok publikování	2021
Druh	Další prezentace na konferencích
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Online prezentace popísala časový vývoj hustoty rozprašovaných titanových atomů a titanových iontů v oblasti terče a substrátu, pro čtyři různé hodnoty průtoku dusíku a pro dva různě intenzivní pulzy.
Související projekty:	Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev R&D centre for plasma and nanotechnology surface modifications