Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	JANČA Jan NAVRÁTIL Karel BOCHNÍČEK Zdeněk PEŘINA V.
Rok publikování	1995
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Czechoslovak Journal of Physics
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek