Optical Characterization of Chalcogenide Thin Films

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	FRANTA Daniel OHLÍDAL Ivan FRUMAR Miloslav JEDELSKÝ Jaroslav
Rok publikování	2001
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Applied Surface Science
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/ASS175_555.html
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Chalcogenide films; Dispersion model; Ellipsometry; Reflectometry
Popis	In this paper the optical characterization of a film of amorphous As-S chalcogenides evaporated on glass substrates will be performed using variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry (VASE) and near normal incidence spectroscopic reflectometry (NNSR). The spectral dependences of the ellipsometric parameters and reflectance of the chalcogenide thin film mentioned is measured within the near-UV, visible and near-IR spectral regions. For interpreting these optical quantities the new dispersion model of the spectral dependences of the optical constants of amorphous solids is employed. This model is based on the modified Lorentz oscillator. Within this model the concepts of the band gap and Urbach tail are respected.
Související projekty:	Optické vlastnosti skel a amorfních tenkých vrstev sulfidů a selenidů