Effect of substrate heating and ion beam polishing on the interface quality in Mo/Si multilayers - X-ray comparative study

• Autoři: ANOPCHENKO A.; JERGEL M.; MAJKOVA E.; HOLY V.
• Rok publikování: 2001
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Physica B
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Popis: Effect of substrate heating and ion beam polishing on the interface quality in Mo/Si multilayers - X-ray comparative study

Související projekty

• Procesy samouspořádání rozhraní při epitaxním růstu polovodičových supermřížek