Reduction of tungsten precursors in inductively coupled RF discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	JANČA Jan ELIÁŠ Marek BROŽEK Vlastimil
Rok publikování	2003
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Progress in Plasma Processing of Materials 2003
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	plasma reduction; tungsten carbide;inductively coupled RF plasma; tungsten precursors
Popis	Synthesis of catalytically active tungsten carbide compounds with the aid of plasmachemical reaction.Ammonium paratungstate (APT) was used as precursor.The final powder was mixture of tungsten and tungsten carbide (6%), grain size 50 um.
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek