Plasma potential in low-pressure capacitive r.f. discharges

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	DVOŘÁK Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka JANČA Jan
Rok publikování	2003
Druh	Článek ve sborníku
Konference	WDS'03 Proceedings of contributed papers, part 2
Fakulta / Pracoviště MU	Fakulta informatiky
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	plasma potential; hydrogen; Langmuir probe
Popis	We observed two different discharge modes in hydrogen. The modes differed significantly in a visual appearance, plasma potential and in the shape of electron energy distribution function. In order to explain it we established a simple model anabling an aproximate calculation of the plasma potential. This model is not capable to predict real values of the plasma potential but it can qualitatively explain the observed effect.
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek