Study of reaction between HMDSO and O atoms in afterglow

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Studium reakce mezi parami HMDSO a kyslíkových atomů v dohasínajícím plazmatu
Autoři	KUDRLE Vít DOLEŽAL Vojtěch TÁLSKÝ Antonín JANČA Jan
Rok publikování	2003
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of ISPC 14
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	plasmachemical reaction; HMDSO; EPR
Přiložené soubory	ispc03.zip
Popis	V této práci je studována kinetika reakcí mezi atomárním kyslíkem a parami HMDSO. Pomocí spektroskopie electronové paramagnetické rezonance byla naměřena rychlostní konstanta.
Související projekty:	Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek