Study of carbon films on silicon substrate

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Studium uhlíkových vrstem na křemíkových vrstvách
Autoři	JAŠEK Ondřej MATĚJKOVÁ Jiřina ELIÁŠ Marek REK Antonín FRGALA Zdeněk KADLEČÍKOVÁ Magdaléna
Rok publikování	2005
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Material Science Forum
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://www.scientific.net/default.cfm?pdf=1&issn=0255-5476&pg=1&ppg=21&paper=203&isbn=0-87849-964-4
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	high resolution scanning microscopy; carbon nanostructures; diamond; nanotubes
Popis	Tenké uhlíkové vrstvy na křemíkových substrátech byly studovány pomocí FE SEM s EDS analyzátorem. Prvním typem jsou vrsty uhlíkových nanotrubek (CNT) připravené na Si/SiO2 substrátech s vrstvou Fe nebo Ni metodou RF-CVD. Byly zkoumány vlastnosti vrstev na tloušťce Fe a Ni vrstev a depozičních podmínkách. Dalším druhem vrstev jsou vrstvy tvořené mikro- a nanokrystalickými diamanty. Tyto vrstvy byly přepraveny na předem ošetřených křemíkových substrátech metodou MPCVD. Hlavním bodem studia vrstev je vliv ošetření vrstem a jeho parametrů na výslednou diamantovou vrstvu.
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek