Plasma Enchanced CVD of Carbon Nanotubes in Atmosferic Pressure Microwave Torch
Název česky | Syntéza uhlíkových nanotrubek v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku metodou PECVD |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Proceedings of 15th Symposion on Application of Plasma Processes |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | carbon nanotubes; microwave discharge; scanning electron microscopy |
Popis | Uhlíkové nanotrubky byly připraveny v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku buzeném ve směsi metanu,vodíku a argonu na Si/SiO2/Fe substrátech. Optimalizací podmínek bylo možno připravit čisté, velmi dobře uspořádané vrtsvy dlouhých nanotrubek (několik desítek mikrometrů) s vysokou růstovou rychlostí. Deponované vrstvy byly analyzovány skenovací elektronovou mikroskopií a plazma výboje bylo analyzováno optickou emisní spektroskopií. |
Související projekty: |