Mechanical properties of amorphous and nanocrystalline silicon thin films on flexible substrates

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Pedagogickou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Mechanické vlastnosti amorfních a nanokrystalických tenkých vrstev křemíku na flexibilních substrátech
Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma SLÁDEK Petr SŤAHEL Pavel
Rok publikování	2005
Druh	Článek ve sborníku
Konference	NENAMAT International Conference Proceedings NANO05
Fakulta / Pracoviště MU	Pedagogická fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Mechanical properties; Amorphous silicon; Nanocrystalline Silicon
Popis	DSI technika je jedna z nejvhodnějších metod pro sledování mechanických vlastností tenkých vrstev. Byla použita pro studioum tenkých vrstev amorfního a nanokrystalického křemíku deponovaného na flexibilních substrátech.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek