Digital two-wavelength holographic interference microscopy for surface roughness measurement

• Název česky: Digitální dvousvazková holografická interferenční mikroskopie měření drsností povrchů
• Autoři: OHLÍDAL Miloslav; ŠÍR L.; JÁKL M.; OHLÍDAL Ivan
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of SPIE 5945, 14th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: Holography; Interference; Surface roughness; Metrology
• Popis: Je prezentován nový přístup k měření drsnosti povrchu založený na použití digitální dvouvlnové holografické interferenční mikroskopie se syntetickou vlnovou délkou. Dva hologramy náhodně drsného povrchu jsou postupně při dvou vlnových délkách zaznamenány CCD kamerou. Digitální součet obou hologramů je numericky rekonstruován. Rekonstruované digitální vlny spolu numericky interferují. Parametry měřeného drsného povrchu mohou být určeny z tvaru proužků ve vzniklém digitálním interferogramu. Rozsah měřitelné drsnosti povrchu je určen syntetickou vlnovou délkou, která je nepřímo úměrná rozdílu použitých vlnových délek.

Související projekty

• Realizace laboratorního vzoru zařízení pro měření drsnosti povrchu metodou holografické interferometrie