X-ray reflection study of early stages of Pt silicide formation

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Studium počátečních fází silicidace Pt metodou rtg reflexe
Autoři	BOCHNÍČEK Zdeněk ČECHAL Jan ŠIKOLA Tomáš
Rok publikování	2004
Druh	Článek ve sborníku
Konference	7th Bienal Conference on High Resolution X-ray Diffraction and Imaging, Book of abstracts
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	silicidation; Pt; XRR
Popis	Velmi časná stadia silicidace vrstvy platiny deponované na Si substrátu byla měřena s pomocí reflexe rtg záření při žíhání in-situ. Bylo zjištěno, že interdifuye mezi vrstvami začíná již za teplot nad 100stC, což je mnohem nižší hodnota, než než je teplota běžně udávaná pro počátek vzniku silicidu platiny.
Související projekty:	Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur