Gas Pressure Sensor Based on PECVD Grown Carbon Nanotubes
| Název česky | Senzor tlaku s použitím uhlíkových nanotrubek připravených metodou PECVD |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2007 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Applications of Nanotubes and Nanowires MRS Proceedings Volume 1018E |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://www.mrs.org/s_mrs/sec_subscribe.asp?CID=8760&DID=197692&action=detail |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | gas pressure sensor; carbon nanotubes |
| Popis | Tento článek popisuje vývoj a připravu senzoru tlaku založeného na autoemsních vlastnostech uhlíkových nanotrubek (CNTs). Senzor se skládá ze dvou částí: křemíkové membrány tvořící anodu; a vrstvy vícestěnných nanotrubek na křemíkové katodě. Tyto dvě elektrody spolu tvoří evakuovanou mikrokomůrku. Obě elektrody jsou připraveny z křemíkové desky s orientací 100 dopované fosforem. Uhlíkové nanotrubky byly připraveny metodou PECVD v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku. Jako katalyzátor bylo použito železo. Katalazátor byl za pomoci masky nanesen na plochu odpovídající rozměrům membrány. Po depozici se na subtrátu nacházela vertikálně uspořádaná vrstva uhlíkových nanotrubek s průmerem asi 80 nm. Uspořádání vrstvy je způsobeno tzv. crowding efektem. Za účelem určení prahového proudu byly naměřeny autoemisní charakteristiky vyrobeného senzoru. |
| Související projekty: |