Characterization of non-uniform diamond-like carbon films by spectroscopic ellipsometry

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Charakterizace neuniformních vrstev diamantu-podobného uhlíku pomocí spektroskopické elipsometrie
Autoři	OHLÍDAL Ivan NEČAS David FRANTA Daniel BURŠÍKOVÁ Vilma
Rok publikování	2009
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Diamond and Related Materials
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	https://doi.org/10.1016/j.diamond.2008.09.003
Doi	http://dx.doi.org/10.1016/j.diamond.2008.09.003
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	diamond-like carbon films; thickness non-uniformity; material parameters; optical constants
Popis	V praxi řada vrstev připravených různými technologiemi vykazuje slabší či silnější plošnou neuniformitu. Diamantu-podobné uhlíkové (DLC) vrstvy jsou také někdy vyrobeny s touto neuniformitou. V tomto příspěvku bude ukázáno, jak zahrnout tloušťkovou neuniformitu vrstev při optické charakterizaci pomocí spektroskopické elispometrie. Jsou ukázány dva nové vzorce vyjadřující komponenty Stokesova vektoru vrstev vykazující tloušťkovou neuniformitu pro fázově modulovanou elipsometrii.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích