Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Coatings

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	GARDELKA Tomáš BURŠÍKOVÁ Vilma SŤAHEL Pavel
Rok publikování	2009
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostic 8
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Thermal Desorption Spectroscopy; Diamond-like Carbon Coatings
Popis	Nanostructured silicon-oxide containing diamond-like coatings were prepared with low compressive stress, high fracture toughness, low roughness, low friction coeficient and good adhesion to different substrates. The coatings were stable up to minimum 400 st.C. The hydrogen and hydrocarbon desorption did not cause deterioration of the films.
Související projekty:	Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie