Measurement of plasma potential waveform by an uncompensated probe

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Měření průběhu potenciálu plazmatu nekompenzovanou sondou
Autoři	DVOŘÁK Pavel
Rok publikování	2010
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Plasma Sources Sci. Technol.
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	plasma potential; probe; higher harmonic frequencies; capacitively coupled discharge; plasma
Popis	Měření průběhu potenciálu plazmatu (vf. změn během jedné periody) nekompenzovanou sondou s malou impedancí.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek