Plasma treatment of silicon surface

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Plazmová úprava povrchu křemíku
Autoři	SKÁCELOVÁ Dana HANIČINEC Martin SŤAHEL Pavel ČERNÁK Mirko
Rok publikování	2010
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Potential and Applications of Thin Ceramic and Metal Coatings
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	silicon surface - dielectric barrier discharge - plasma treatment
Popis	Příspěvek se zaměřuje na plazmovou úpravu povrchu krystalického křemíku. Plazma bylo buzeno Difúzním Koplanárním Povrchových Bariérovým Výbojem (DCSBD) za atmosférického tlaku ve vzduchu. Pomocí metody kontaktních úhlů byla studováná povrchová energie a pomocí mikroskopie atomárních sil (AFM) byla zkoumána drsnost povrchů křemíku před a po plazmové úpravě.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Tvorba nano-vrstev a nano-povlaků na textiliích s využitím plazmových povrchových úprav za atmosférického tlaku