Role vodíku na strukturální změny SiGe:H vrstev

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Pedagogickou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	SLÁDEK Petr BURŠÍKOVÁ Vilma SŤAHEL Pavel
Rok publikování	2011
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Sborník příspěvků 5. České fotovoltaické konference
Fakulta / Pracoviště MU	Pedagogická fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	hydrogen; thin films; SiGe
Popis	Příspěvek je zaměřen na studium vlivu role vodíku na vlastnosti tenkých vrstev SiGe:H. Pro zjištění optoelektronických vlastností vrstev byly použity metody IČ, PDS, CPM, a dynamická intendační metoda pro stanovení mechanických vlastností. Navíc byly vzorky podrobeny měření termální desorpce vodíku. Výsledky ukazují na různé zabudování vodíku se změnami depozičních podmínek.
Související projekty:	Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie