Informace o projektu
Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
- Kód projektu
- OC 527.20
- Období řešení
- 1/2000 - 12/2005
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR
- COST (jen po projekty s počátkem řešení v roce 2010)
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
Cílem projektu je studium procesů probíhajích během plazmové polymerizace, kopolymerizace a modifikace povrchů pevných substrátů plazmatem. Diagnostika reaktivního plazmatu bude prováděna ve speciálním vysokovakuovém reaktoru prováděna různými prostředky - optická emisní spektroskopie, aktinometrie, hmotnostní spektrometrie, sondová měření. Ochranné vrstvy připravené z rozličných směsí monomerů a plynů jako je kyslík, argonn, metan a nanášené na plastické materiály budou optimalizovány pokud o jejich optické a mechanické vlastnosti. Bude pokračovat studium (pomocí ESR) DLC a kompozitních CNx vrstev v induktivně vázaném výboji. Mikrokrystalické diamantové a DLC vrstvy budou připravovány také v mikrovlnném reaktoru ASTEX. Vlastnosti povrchů a nanášených vrstev budou studovány pomocí eleipsometrie, měřením kontaktního úhlu, AFM, XPS, FTIR. Dále bude zkoumáno využití APG výboje při povrchové úpravě vlákenných materiálů (textil, papír, ) a nové metody restaurace archeologických nálezů.
Publikace
Počet publikací: 92
2001
-
Diagnostics and Application of High Frequency Plasma Pencil
Plasma Chemistry and Plasma Processing, rok: 2001, ročník: 21 (2001), vydání: 4
-
Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process
Rok: 2001, druh: Prezentace v oblasti VaV (AV tvorba, WEB aplikace apod.)
-
Diagnostics of Radio Frequency Oxygen Plasma by Optical Emission Spectroscopy
WDS'01 Proceedings of Contributed Papers, rok: 2001
-
Improvement of the Efficiency of the Silicon P-I-N cells by Silicon Incorporated Diamond-like Carbon Antireflective Coating
19th International Conference on Amorphous and Microcrystalline Semiconductors, rok: 2001
-
Modification of Plasma Deposited DLC Films by Hexamethyldisiloxane Addition
Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 2001
-
Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge
SAPP 13th Symposium Proceedings, rok: 2001
-
Optical characterization of DLC:Si films prepared by PECVD
Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 2001
-
Plasma Enhanced CVD of DLC:Si(O) Films from Methane/Hexamethyldisiloxane Feeds
Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry, rok: 2001
-
Practical exercises in applied plasma chemistry
15th ISPC symposium proceedings, rok: 2001
-
Preparation of enhanced CN-based hard coatings by PECVD
Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry, rok: 2001